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第77章 深夜封厂,神装就位[3 / 4]

65-90nm双兼容干法湿法一体化刻蚀机、PECVD等离子体增强薄膜沉积设备、LPCVD低压化学气相沉积设备、PVD物理气相沉积设备、高能高精度离子注入机、CMP化学机械全局抛光系统、全自动匀胶显影一体机、超纯水超声波湿法清洗机组、RTP快速热退火设备、全自动晶圆传送机械臂、智能特气供给柜、晶圆终极测试分选台……

全套设备环环相扣,从晶圆清洗、光刻、刻蚀、掺杂、镀膜、抛光,到最终检测、分选封装,一站式完成90nm芯片全流程量产。

没有任何短板,完全不需要依赖海外设备、技术与零部件。

要知道,2007年的国内半导体行业,连稳定的130nm制程都难以批量良产。

90nm制程更是被海外彻底封锁,外企淘汰的老旧设备都能被国内厂商当成宝贝天价抢购。

可此刻,他眼前的这套产线,工艺精度、自动化程度、良率标准,全部远超当前国际主流水平!

压下心中的震撼,苏诚转身快步走出主厂房,朝着另外两座刚刚竣工的洁净厂房快步走去。

推开第二座厂房的气密隔离门,入目依旧震撼。

这里并非重复设备堆砌,而是系统精细化分区部署,专门作为晶圆预处理与精密封装测试车间。

全自动晶圆切割设备、真空键合封装机、微观缺陷检测显微镜、高低温可靠性老化测试设备整齐排列,专门承接主厂房的晶圆半成品,完成后续封装、测试、老化全流程,彻底打通从硅片到成品芯片的最后一环。

第三座厂房则是配套的智能运维与工艺研发中心,搭载着专属产线的超级调试主机、工艺仿真服务器、数据监测终端,可实时监控产线每一道工序的参数,迭代优化制程工艺,为后续向下兼容65nm制程迭代预留了充足的升级空间。

三座厂房,各司其职、三位一体,组成了一套完整、闭环、可独立量产的现代化芯片产业园。

苏诚望着眼前宛如科幻片场的工业场景,胸腔剧烈起伏,久久无法平静。

外界全网都在嘲讽他画饼,嘲讽华创是空壳,嘲讽国产芯片不可能突围……

所有人都等着看华创沦为第二个汉芯,看他这个煤老板跨界科技的笑话。

可没人知道,在这片深夜的坪山厂区,一条碾压时代的国产芯片产线,已然悄然落地。

就在这时,

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