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道难关。

只有将光源波长做的越短,芯片的精度才会越高。

而率先研发出高精度芯片的企业,注定会领跑整个行业,将其他企业牢牢地摔在身后。

而针对这项技术,市面上出现了两种方法。

那就是157nm光源干刻法与193nm光源湿刻法。

尼康等公司主张在前代的技术基础上,采用157NM的F2激光,走稳健道路。

而新生的EUV LLC联盟,则押注于更激进的极紫外技术,用仅有十几纳米的极紫外光,刻十纳米以下的芯片制程。

但不管是这两种技术中的哪一种,技术要求都极其不易。

然而在这个时候,台积电一个叫做林本间的鬼才工程师出现了。

降低光的波长,光源出发是根本方法,高中学生都知道,水会影响光的折射率。

在透镜和硅片之间加一层水,原有的193nm激光经过折射,不就直接越过了157nm的天堑,降低到132nm了!

林本间拿着这项沉浸式光刻方案,兴奋的跑去了米国、德国以及岛国,游说各家半导体巨头。

然而他的方案最终并没有得到认可,甚至还有不少人觉得这家伙就是来搞事的,甚至不止一次警告台积电。

毕竟这只是理想情况,在精密的机器中加水构建浸润环境,既要考虑实际性能,又要操心污染。如果为了这一条短期替代方案,耽误了光源研究,吃力不讨好只是其次,被对手反超可就不好看了。

所以,作为大厂的尼康,选择了在157nm上一条道走到黑,进行光刻机的技术突破。

而在这个时候,也正是阿斯麦公司登场的时候。

一个位于丹麦,只有几十人团队的小角色。

谁都没有想到,阿斯麦竟然和林本间一拍即合,二者赌了一波大的,竟然真的在几年后研发出了第一台样机。

也正是因为先人一步,他们成功拿下了IBM和台积电等大客户的订单,一跃成为了光刻机大厂。

然而,尼康虽然靠着技术突破,也研发出了干式微影157nm技术的成品,但毕竟被阿斯麦抢了风头,更何况波长还略落后于对手,等到一年后又完成了对浸润式技术的追赶,客户却已经不承认“老情人”,毕竟光刻机又不是小朋友玩具,更替要钱,学习更要成本。

至此,尼康在光刻机舞台上,正式黯然离场。

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